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日立掃描電子顯微鏡-FlexSEM 1000 II

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FlexSEM 1000 II“的SEM更為緊湊"寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計(jì)，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能。參數(shù)規(guī)格：項(xiàng)目?jī)?nèi)容分辨率*34.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式）15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式）5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）加速電壓0.3 kV～20 kV倍率×6～×300,000 （照片倍率）×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）低真空設(shè)置6～100 Pa電子槍集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）樣品臺(tái)3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mmT：-15～90°、R：360°可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）*4樣品尺寸直徑80 mm（選配：直徑153mm）樣品高度40 mm尺寸機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm電源盒：450（寬度）×640（進(jìn)深）×450（高度） mm選項(xiàng)高敏感度低真空檢測(cè)器（UVD2.0）能量色散型X射線檢測(cè)器（EDS）軟件Mult......

詳細(xì)介紹

FlexSEM 1000 II

“的SEM更為緊湊"
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計(jì)，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。

全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能。

參數(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目	內(nèi)容
分辨率*3	4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）
加速電壓	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）
低真空設(shè)置	6～100 Pa
電子槍	集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
樣品臺(tái)	3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可觀察范圍：直徑64mm（R聯(lián)用）*4
樣品尺寸	直徑80 mm（選配：直徑153mm）
樣品高度	40 mm
尺寸	機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進(jìn)深）×450（高度） mm
選項(xiàng)	高敏感度低真空檢測(cè)器（UVD2.0）能量色散型X射線檢測(cè)器（EDS）
軟件	Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能）

*PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備*3機(jī)體和電源盒連接時(shí)候*4使用標(biāo)準(zhǔn)支架時(shí)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

FlexSEM 1000 II，憑借全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測(cè)器，可在加速電壓20 kV下實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面，具有亮度和對(duì)焦自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP"，這個(gè)功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)最直觀的視野移動(dòng)。

憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測(cè)器、低真空檢測(cè)器（UVD*2），可在低加速/低真空下觀察時(shí)實(shí)現(xiàn)的畫質(zhì)
全新的定位功能“SEM MAP"，支持觀察時(shí)的視野搜索和樣品定位

大直徑（30毫米2）無氮EDS檢測(cè)器，可快速進(jìn)行元素分析*2

*1設(shè)置到桌面上時(shí)，請(qǐng)將機(jī)體與電源盒分離*2選項(xiàng)

小型高性能色譜柱

尺寸雖小，卻具備同類產(chǎn)品中的分辨率。

金顆粒沉積 金顆粒沉積
加速電壓：20 kV 加速電壓：20 kV
倍率：60,000倍倍率：50,000倍
信號(hào)：SE 信號(hào)：BSE
分辨率：4 nm 分辨率：5 nm

高畫質(zhì)

配備可優(yōu)化放射電流的功能，以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，而獲得噪點(diǎn)小且清晰的圖像。

儲(chǔ)氫合金 儲(chǔ)氫合金
加速電壓：5 kV 加速電壓：5 kV
倍率：30,000倍倍率：30,000倍
信號(hào)：SE、無金屬涂層信號(hào)：SE、無金屬涂層

可用高畫質(zhì)和快速觀察

搭載GUI和自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動(dòng)對(duì)焦（AFC）、自動(dòng)亮度調(diào)節(jié)（ABCC）按鈕，就可以獲得的圖像。（自動(dòng)調(diào)節(jié)：與以往相比，縮短時(shí)間約13秒*3）當(dāng)然，也可以通過觸屏進(jìn)行操作。

*3對(duì)比日立SEM SU1510

全新定位系統(tǒng)“SEM MAP"

“SEM MAP"功能可有效實(shí)現(xiàn)觀察時(shí)的視野搜索和樣品定位。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像，定位樣品，一鍵點(diǎn)擊即可移動(dòng)到觀察部位。
在SEM MAP上導(dǎo)入的圖像會(huì)自動(dòng)進(jìn)行粘貼，并以分布圖的形式顯示。